SEM을 사용하려고 백금 코팅기를 켰는데, 플라즈마도 형성 안되고 백금 코팅도 제대로 되지 않는데, 왜 그런 거죠? 고장인가요?
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@32기_원재인OPERATOR
2026. 09. 03. 오후 5:50이온스퍼터코터 (백금 코팅기)의 진공 챔버 튜브(투명 유리 관)의 문제일 수 있습니다!
진공 챔버 튜브 사이에 이물질이 껴있다면, 진공이 제대로 이루어지지 않아 플라즈마가 형성되지 않고, 코팅도 되지 않을 수 있습니다.
그럴 경우 에탄올과 킴테크를 활용해 챔버 바닥 접촉 부분을 가볍게 닦아주세요!